Mit SMART-Spray hat das Unternehmen INFICON eine kabellose und mobile Helium-Sprühpistole entwickelt, die die Dichtheitsprüfung in der Halbleiterfertigung beschleunigen und vereinfachen soll. Das Gerät soll Effizienz, Geschwindigkeit, Genauigkeit und Bedienkomfort der Lecksuche zugleich erhöhen.
Die Lecksuche ist für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterfertigung von zentraler Bedeutung, war bisher aber an schwere und unhandliche Ausrüstung gebunden. SMART-Spray soll diesen Prüfschritt von Heliumflaschen und langen Leitungen lösen und ihn zugleich sicherer und genauer machen.
Genauigkeit auf Knopfdruck für niedrigste Leckraten
In der Halbleiterfertigung ist Genauigkeit unverzichtbar, denn die Schwellenwerte für Leckraten können bei bis zu 1 x 10⁻⁹ mbar·L/s liegen. Um hier verlässliche Ergebnisse zu erzielen, bietet SMART-Spray vier voreingestellte Helium-Durchflussstufen, die sich direkt am Gerät wählen lassen und die bisher üblichen manuellen Sprühanpassungen ersetzen, die fehleranfällig waren.
Ein integriertes Display zeigt Leckraten und Gerätestatus in Echtzeit unmittelbar dort an, wo gesprüht wird. Damit entfällt die bisher nötige Fernbedienung, über die der Messwert getrennt vom Prüfpunkt abgelesen werden musste, und Lecktests lassen sich auch in komplexen Systemen mit zahlreichen Testpunkten schnell und zuverlässig durchführen.
Freie Beweglichkeit auch an schwer zugänglichen Testpunkten
Weil SMART-Spray kabellos und mobil arbeitet, kann sich der Bediener frei bewegen, ohne an Leitungen oder Zylinder gebunden zu sein. Bisher waren die sperrigen Heliumflaschen nur mühsam zu manövrieren, und lange, verhedderte Leitungen schränkten die Bewegungsfreiheit ein, sodass sich Bediener in engen Räumen innerhalb großer und komplexer Anlagen zurechtfinden mussten.
Mit der handgeführten Sprühpistole lassen sich nun auch schwer zugängliche Bereiche erreichen, ohne sich mit der Ausrüstung abmühen zu müssen, womit die zeitaufwendige Einrichtung und die zuvor begrenzte Reichweite zu den einzelnen Testpunkten entfallen. Da die Heliumflasche wegfällt, entsteht zudem Platz für andere Arbeiten, während sich Testzeit und Ermüdung der Bediener verringern.
SMART-Spray senkt Sicherheitsrisiken und hält die Prüfung im Betrieb
Neben dem Tempo senkt SMART-Spray vor allem die Risiken am Arbeitsplatz. Da keine Schläuche oder Leitungen mehr auf dem Boden liegen, verringern sich die Stolperfallen, und weniger bewegliche Teile sowie ein vereinfachtes Leckprüfverfahren mindern zugleich die körperliche Belastung und das Risiko von Bedienungsfehlern.
Für den durchgehenden Einsatz sorgen nachfüllbare und austauschbare Heliumkartuschen (HeliCan) sowie wiederaufladbare und wechselbare Batterien, die eine nahtlose Dichtheitsprüfung ermöglichen. So verbindet das Gerät die höhere Geschwindigkeit mit mehr Sicherheit, Effizienz und Benutzerfreundlichkeit.
